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標題: 多晶硅還原爐工作原理 [打印本頁]

作者: 又是后悔的一天 時間: 2024-9-27 16:33
標題: 多晶硅還原爐工作原理
?多晶硅還原爐的工作原理是通過控制爐溫和利用硅材料的還原反應原理實現硅的提純。? 多晶硅還原爐是一種用于生產多晶硅的設備，其核心在于通過高溫作用使氯硅烷發生熱裂解反應，產生細硅粉，這些細硅粉在爐內氣相空間形成霧狀，即所謂的霧化現象。這種霧化現象如果不加以控制，會導致多晶硅棒表面出現不規則的顆?；騼炔繆A層，影響產品質量。為了控制霧化，可以采取降低棒表面溫度、提高氫氣流量、增加原料總流量或控制二氯二氫硅的含量等措施。此外，多晶硅還原爐的電源工作原理涉及到功率調節柜和電源變壓器的多級分檔控制，以確保加熱電源在運行過程中能平穩精確控制，并使平均功率因數達到規定范圍內。了解多晶硅還原爐的工作原理對于理解硅材料的制備過程和爐溫控制具有重要意義。?

作者: 兔子蹬鷹 時間: 2024-9-27 16:34
歡迎新人

作者: 654123 時間: 2024-10-1 08:09
樓主，這個話題我很感興趣，關注了！

作者: 可樂搖搖樂 時間: 2024-10-1 20:12
感謝您提供的寶貴經驗，這些建議對我來說非常實用。

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